隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，除了固體預(yù)粒污染物外，化學(xué)氣體(AMC)對微電子潔凈室的影響越來越大。在晶圓、LCD、OLED等各個生產(chǎn)領(lǐng)域，化學(xué)氣AMC已經(jīng)成為生產(chǎn)中至關(guān)量要的影響因素，(AMC)污染易造成半導(dǎo)體層間結(jié)合失效、HEPA降解排雜物的進(jìn)入、高接觸電阻、T-Topping 現(xiàn)象、光學(xué)鏡頭霧狀缺陷，以及玻璃表面污染等問題。因此，AMC的控制要求也提高到了ppt的級別。
LTM為改魯潔凈室內(nèi)AMC化學(xué)氣體污染，提出了“監(jiān)控檢測”、“現(xiàn)場治理”、“持續(xù)提高”的綜合解決辦法。產(chǎn)品與服務(wù)相配套，確保潔凈室內(nèi)空氣質(zhì)量。
在實(shí)驗(yàn)室的使用中，會使用或者產(chǎn)生各種各祥的有毒有害氣體，如S02, Cb, NH3、 甲酷VOE等， 這些氣體的泄漏或者直排，會對人體、環(huán)境等造成無法預(yù)計(jì)的損失， 因此， 必須對這些氣體進(jìn)行控制。
TIME:2022-04-29
石油生產(chǎn)企業(yè)、發(fā)電企業(yè)、煤氣化企業(yè)、化工廠等各種企業(yè)在生產(chǎn)過程中，都會產(chǎn)生大景的廢氣，在環(huán)境污染日益嚴(yán)重的今天，環(huán)境保護(hù)成為了置中之里。
TIME:2022-04-29
汽車尾氣和丁業(yè)廢氣的排放、室內(nèi)裝飾品蚧 消潔劑散發(fā)出的揮發(fā)性有機(jī)化合物， 空氣中的生物污染物如花粉、 病毒等，不良通風(fēng)系統(tǒng)等，造成室內(nèi)空氣 日益惡劣． 人長期呆在空氣惡劣的室內(nèi)， 會經(jīng)常出現(xiàn)以下典型癥狀：疲乏、頭暈、呼吸不暢、咽干喉疼等. 1980年，世界衛(wèi)生組織正式將此類因空洞新風(fēng)不足導(dǎo) 致的疾病定名 "病態(tài)建筑綜合癥" ， 俗稱 “空調(diào)病" 。
TIME:2022-04-29
